硅烷即硅與氫的化合物，是一系列化合物的總稱，包括甲硅烷( SiH4) 、乙硅烷( Si2H6) 和一些更高級的硅氫化合物。目前應用最多的是甲硅烷。一般把甲硅烷簡稱做硅烷。

硅烷的應用

1，高純硅烷跟高純氨氣一起用于生產太陽能薄膜電池將硅分子附著于電池表面2，跟高純乙烯一起用于LOW-E鍍膜玻璃的生產

3，高純硅烷應用于大規模集成電路的外延生長工藝中用作硅源,

4，應用于國防、軍事工業的研發、生產

5，硅烷在平板顯示生產中也有重要的用途,

6，用于低溫二氧化硅CVD、用于氮化硅CVD

硅烷操作說明

用一個減壓器或獨立的控制閥安全地從氣瓶內釋放硅烷。用單向閥來防止倒流。不要用明火或其它附近的熱源加熱鋼瓶的任何部分。

使用防火花工具。不要試圖對裝有硅烷的鋼瓶進行修理、調節或其他改動。

用氫離子檢測器監測硅烷的修理和在空氣中的擴散，用紅外/紫外監測器監測火災 。所以的監測器都應有內鎖，一旦發現問題立即自動切斷硅烷氣源。

如果出現故障或其他操作問題，請立即與最近的分銷商聯系。

硅烷系統中不允許使用填壓閥，只允許使用非填壓的膜閥和波紋管閥。在其分配系統中應安裝過流閥或過流開關。這樣可以在下游管線發生爆炸時切斷氣源。這個開關閥應安裝得離氣源越近越好。

如有可能應避免單獨一個人操作鋼瓶。所有的操作都應這樣進行,一旦發生泄漏，處理緊急情況的人員可以立即趕到。

監測系統應裝備備用或應急電源。必須有遙控緊急開關，必要時可關閉硅烷氣源。

一定不要拉、滾動或滑動容器。用合適的手推車來移動容器，不要試圖抓住氣瓶的蓋子來拎起它。保證氣瓶在使用的全過程中為固定狀態。

不可將工具(如：扳手，螺絲刀，等) 插入閥蓋內。 否則會損壞閥門并引起泄漏。

一旦鋼瓶與吹掃和鈍化過的系統連接好，應緩慢仔細地打開鋼瓶閥。如果使用者在操作氣瓶閥時有困難，需停止使用，并與供應商聯系。

使用可調節的帶扳手來打開過緊或生銹的閥蓋。所有管路和相關設備接地。電器設備必須防火花和防爆。

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